七一八所特种气体材料项目邯郸投产（图）

河北新闻网5月18日讯（记者梁韶辉）今天，中船重工第七一八研究所举办特种气体产品推介会暨一期项目投产、二期项目开工仪式。台积电、京东方、中芯国际、华星光电、三星、东芝等来自全球60多家半导体和液晶面板行业的厂商齐，共同见证了七一八所肥乡新材料产业基地一期项目投产。

5月18日，中船重工第七一八研究所举办特种气体产品推介会暨一期项目投产、二期项目开工仪式。图为开工仪式现场。 记者梁韶辉摄

七一八所肥乡特气新材料产业基地2017年4月开工建设，预计2020年全部达产达效后，年产高纯特种气体2万吨，年产值突破45亿，三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯和三氟甲基磺酸四种产品产能将居世界第一。高纯特种气体是半导体发光元器件产业、半导体高端存储处理芯片等高端新兴行业所急需的原材料，属于国家加快扶持发展的战略性新兴产业。该项目的投产，对打破美日垄断，提升我国集成电路产业的核心科技水平和竞争能力具有重要意义。

七一八所有50多年从事气体相关产业的研发和生产经验，目前三氟化氮国内市场覆盖率达到95%以上，国际市场覆盖率达到30%；六氟化钨国内市场覆盖率达到100%，国际市场覆盖率达到40%。作为国家“02专项”气体项目的牵头单位，七一八所已经成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、氯化氢、氟化氢等9种高纯气体及10种混合气体并成功进行了产业化，相关产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。

责任编辑：张永猛